日前，中国科协在2023“科创中国”年度会议上，正式发布2022年“科创中国”系列榜单。北工投资在管京国盛基金投资项目东方晶源荣登“科创中国”先导技术榜。
“科创中国”系列榜单由中国科协推出，是“科创中国”建设的一项引领性、标志性工作，着力打造科技创新驱动高质量发展的风向标，围绕服务国家重大战略需求，促进创新链和产业链深度融合，为前沿技术的转化和产业落地起到带动和示范作用。
东方晶源成立于2014年，作为专注于国内集成电路领域良率管理的国家级专精特新“小巨人”企业，经过多年的发展，企业成功解决多项关键技术难题，填补国内相关技术空白并领跑国内行业发展。公司自主研发出的电子束缺陷检测设备（EBI）和关键尺寸量测设备（CD-SEM）是集成电路制造中用于良率监控的关键设备，对于提高集成电路制造企业的产品良率具有重要意义。经过多年技术攻关，企业突破了集成电路制造检测设备的高速高精度硅片传输定位、高速图像像差补偿、自动缺陷检测和智能分类、小线宽尺寸量测等多项关键技术。
北工投资自成立以来，始终坚持以首都发展战略为统领，主动融入首都新发展格局，聚焦首都高精尖产业，超前进行集成电路产业链规划布局，先后投资了龙芯中科、科华微电子、中芯北方、有研硅、东方晶源等半导体产业龙头企业，覆盖了从芯片设计、晶圆制造、芯片封测到材料与装备制造的集成电路产业链关键环节，致力于服务区域产业配置，助力首都高精尖产业实现高质量发展。
此次获奖是国家科技领域对东方晶源技术实力和取得成绩的高度认可，再次证明了企业在电子束检测领域技术达到一定成熟度，且具有创新性、战略性、引领性、突破性。接下来，北工投资将持续聚焦首都高精尖产业领域，进一步发挥好自主创新的支撑和引领作用，为服务我国集成电路制造产业实现自主可控贡献力量。
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