云汉星驰获颁“北京市首台（套）重大技术装备证书”

近日，云汉星驰的“基于CLB0的高功率深紫外193nm窄线宽皮秒激光系统”成功获颁北京市首台（套）重大技术装备证书。

（北京市首台（套）重大技术装备证书）

掩模板检测是芯片制造前道环节的关键程序，而193nm深紫外激光器是掩模板检测设备的核心光源。云汉星驰成功攻克核心深紫外光源技术，实现高功率窄线宽193nm皮秒激光器国产化研制，为集成电路关键装备核心光源国产化替代筑牢技术根基。此次入选北京市“首台（套）”目录，是对云汉星驰自主研发实力、核心技术创新水平的权威认可。未来，云汉星驰将继续坚持自主研发，为我国集成电路产业链自主可控和先进制程升级提供坚实支撑。